在别人谈先进工艺时，用成熟工艺抢得物联网先机？！

先进工艺 or 成熟工艺？想想中国半导体在先进工艺节点上的差距，面向物联网时代的需求，是投资先进工艺还是改造成熟工艺？EDN建议您或许可以听听来自工艺管控与良率管理专家的意见。 “对于中国本土的半导体公司，物联网会是一个非常好的机会，” 来自KLA-Tencor (科天)电子束产品副总裁Amir Azordegan在谈到物联网应用是否需要先进工艺时表示，“现今，物联网应用已快速成长，生产技术节点基本横跨28至100纳米，这对于中国半导体市场是一个非常好的机会，中国半导体行业在这些技术节点也具有相当优势。” 对于先进工艺用于物联网技术的态度，KLA-Tencor中国区总裁张智安也表示，“基本上IoT的应用离不开Sensor、Processor、Memory、RF这几大类，从技术节点看，并不是所有的大类都需要如同FinFET的先进工艺来处理，很多时候28-90nm、甚至100nm以上的工艺就可以搞定，例如MEMS就是个很好的例子，这对中国半导体厂商而言会是良机。” Amir Azordegan也认为，“在高端的物联网应用，先进工艺当然有其用武之地，但是先进工艺贵。物联网的驱动力与过往摩尔定律不同。依循摩尔定律，新的器件技术、更小的器件尺寸、更快的产品上市时间驱动着半导体行业不断增长。而物联网的要求则围绕着更低成本、更高生产力及高可靠度上，这会与摩尔定律大相径庭。由于大多数物联网相关器件的制造无需使用最先进的技术。因而对于中国半导体厂商而言，透过硬件与软件之升级现有机台，提升生产力并降低成本或许是更为实际的做法。” 当然，即便是成熟工艺平台应用于物联网需求，还需要做很多调整。面对来自物联网上下广泛的需求，Amir Azordegan 分析道：“物联网领域广泛，可以大致分成更依赖先进工艺更新的领域，例如可穿戴电子、消费电子等。还有一块是依赖可靠性或鲁棒性的成熟领域，如汽车、电子医疗等。对于这些领域，KLA-Tencor正帮助有需求的半导体厂采取不同的应对：有适合先进工艺的、高技术含量、高工艺节点的技术。例如，就先进节点而言，良率要求很高；也有提供高可靠性、零缺陷管理（ZERO Defect）的成熟工艺检测，在这方面抽样率很重要。” 对此，Amir Azordegan 认为，具体的措施基本会围绕快速提升良率、降低成本、缩短改善良率时间及产品上线时间等方面，这些措施希望能帮助中国半导体企业在短期间内提高市场占有率，增加公司利润。

图1：KLA-Tencor(科天)电子束产品副总裁Amir Azordegan。
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举实例来说，KLA-Tencor做了很多工作，协助客户在现有机台上做更新，以投入更多物联网器件的生产制造，包括：协助半导体厂在最佳的成本区提高产量。通过提供经验证的系统和更新等（图2）。张智安表示，“目前，KLA-Tencor正帮助厂家通过软硬件的升级，使其原有平台可以满足物联网芯片生产的能力。其中包括帮助他们通过检测、良测提高效能和成本，这对规模化应用很有用。也有针对物联网核心的微小型化、低功耗等方面做升级，例如在某些半导体厂原有平台上进行低功耗的工艺改造。或是在汽车领域，KLA通过对旧机台添加验证，为汽车IoT方面的应用做更新。这些都是可按客户特殊需求提供量身定制。”

图2：KLA-Tencor对于IoT的举措。
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据悉，KLA-Tencor在物联网方面的研发投入在过去一年已增加了近4倍，并同时预计每年投入增加20%，对于这些投入，KLA-Tencor有信心在3年内收回投资回报。“现今面临太多技术挑战（图3），包括EUV、新材料、2D至3D技术、先进封装等等，而KLA-Tencor则希望能不断精进以提供各项解决方案协助客户克服这些技术挑战。” Amir Azordegan最后表示。

图3：关键技术挑战与风险。
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