日前，荷兰光刻厂商ASML NV的高管表示，随着行业继续朝着生产部署常被拖延的下一代光刻技术的目标迈进，该公司预计明年将出货20至24套极紫外（EUV）光刻工具。
在发布该公司第一季度财报后，ASML公司总裁兼首席执行官Peter Wennink告诉分析师，该公司继续向其每小时生产125片晶圆、90%光源可用性的EUV目标推进。Wennink提到英特尔、三星和台积电在近期举行的SPIE高级光刻会议上所做的演讲，它们展示了它们使用EUV系统的最新成果以及EUV基础设施的状况。
“虽然在诸如蒙膜（pellicle）等方面仍待完善，但就我们客户所展示的来看，在时间框架内插入EUV似乎没有重大障碍。”Wennink说。
经过多年经常令人沮丧和痛苦的发展，EUV现已准备好在未来几年内，从7nm节点开始，由英特尔、台积电和三星等公司部署在生产中；所有这三家公司都对ASML进行了资金投入，作为客户投资计划的一部分，以帮助该公司开发相关技术。
ASML周三表示，该公司有21台NXE：3400B EUV系统（其最先进的EUV工具）的订单，今年开始交付，价值23亿欧元（约合24.6亿美元）。ASML还有14套较旧的3300和3350系统在使用，其中大部分预计将会升级。
半导体行业市场观察机构VLSI Research的首席执行官G. Dan Hutecheson告诉笔者：ASML的报告并没有关于EUV光刻技术的意外消息。
“基本上是按部就班。” Hutecheson说，“当然，现在的大问题是，你是否能够真正把它放到系统可靠的地方，并使其完全融入生产中？这正是现在大家都在做的。”
Wennink表示，待发的21套系统来自五家独立客户（大概包括英特尔、三星、台积电和格罗方德）的订单。Wennink表示，ASML已经有两家其他客户的EUV订单接近落地，这表明其他顶级芯片制造商正在紧随英特尔、台积电和三星其后，部署EUV。
“当然，很明显，在EUV引入方面，英特尔、台积电和三星是‘前三甲’，而其他家，则明显紧随其后，”Wennink说。
ASML在EUV上的进展是其整体强劲的季度财报的亮点，其销售和利润皆超过了分析师的预期。
Wennink在电话会议上告诉分析师：“我们今年第一季度取得开门红，我们预计这一势头将持续全年。”
ASML第一季度的净销售额为19.4亿欧元（约合20.8亿美元），环比增长2%，同比增长46%。ASML报告其第一季度净收入为4.52亿欧元（约合4.84亿美元），环比下降了14%，但同比增长了128%。
ASML表示，第二季度，预计销售额将在19亿欧元到20亿欧元之间，略低于分析师预期。
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