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芯片里面有几千万的晶体管是怎么实现的?

2019-04-17 12:09:58 呆涛 阅读:
在 IC 设计中,逻辑合成这个步骤便是将确定无误的 HDL code,放入电子设计自动化工具(EDA tool),让电脑将 HDL code 转换成逻辑电路,产生如下的电路图。之后,反覆的确定此逻辑闸设计图是否符合规格并修改,直到功能正确为止。
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光刻9kYednc

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离子注入9kYednc

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微观图长这样: 9kYednc

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再次光刻+蚀刻9kYednc

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撤去保护, 中间那个就是Fin9kYednc

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门部位的多晶硅/高K介质生长9kYednc

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门部位的氧化层生长9kYednc

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长成这样9kYednc

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源极 漏极制作(光刻+ 离子注入)9kYednc

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初层金属/多晶硅贴片9kYednc

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蚀刻+成型9kYednc

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物理气相积淀长出表面金属层(因为是三维结构, 所有连线要在上部连出)9kYednc

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机械打磨(对! 不打磨会导致金属层厚度不一致)9kYednc

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成型! 9kYednc

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连线9kYednc

转载整理自知乎《芯片里面有几千万的晶体管是怎么实现的?》@呆涛 的答复。9kYednc

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