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多物理场仿真在半导体制程中的应用

研讨会介绍

随着半导体制造工艺节点的不断推进,制程复杂度和精度要求日益提升。半导体制程中涉及大量复杂的物理过程,对这些过程的精准控制直接影响芯片性能和制程稳定性。传统的试验和测试方法难以满足对半导体产品性能、良率以及可靠性的高要求。多物理场仿真技术能够准确模拟半导体制造过程中的涉及各种物理现象及其相互作用,准确预测结果、优化制程工艺,从而缩短研发周期、降低试错成本并提升产品竞争力。

本次活动聚焦 COMSOL 仿真软件在半导体制程中的广泛应用,内容涵盖晶圆制备、光刻、沉积、刻蚀、离子注入、热处理,以及平坦化等前道工艺过程中各种多物理场现象的模拟和分析。

演讲嘉宾
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李健身
COMSOL 中国应用工程师
硕士毕业于北京航空航天大学航空工程专业,拥有丰富的仿真建模经验。2021 年加入 COMSOL 中国,负责 COMSOL 软件的技术支持和客户咨询工作,主要涉及流体、传热等领域。
公司介绍

COMSOL 是全球仿真软件提供商, 致力于为科技企业、研究机构和大学提供产品设计和仿真研究的软件解决方案,其旗舰产品 COMSOL Multiphysics® 是一个集仿真建模与仿真 App 开发于一体的软件平台,尤其擅长多物理场现象的仿真分析。多个附加产品将仿真平台的应用扩展到电磁、力学、声学、流体、传热和化工等领域。接口工具实现了COMSOL Multiphysics® 仿真与 CAE 市场上的主流 CAD 工具的集成。仿真专业人员可以借助 COMSOL Compiler™ 和 COMSOL Server™ 向其遍布世界各地的设计团队、制造部门、测试实验室,以及客户部署仿真 App。

COMSOL 公司创立于 1986 年,在全球设有多个分支机构,并通过分销商网络覆盖更多地区。

更多信息,请访问: http://cn.comsol.com

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